주요업무
1. 파운드리 공정 개발 및 관리
• Process flow 설정 및 실험 계획(DOE) 수립, Engineering lot 운영
• 신규 파운드리 공정 및 PDK 분석, 공정 옵션 선정
• Tape-out 대응 및 공정 조건 작성
• 공정 변경 통보(PCN) 영향 검토 및 대응 방안 수립
• 파운드리 정기 기술 협의 진행 및 이슈 에스컬레이션 관리
2. PCM 및 수율 관리
• PCM 항목·spec 협의 및 lot별 데이터 모니터링
• 수율 데이터 분석을 통한 loss 요인 도출 및 개선 과제 수립
• Wafer map, bin 분포 기반 공간적 불량 패턴 분석
• SPC 관리 체계 운영 및 이상 lot 조기 감지
• Lot-to-lot, wafer-to-wafer 산포 관리
3. 소자 설계
• 소자 평가용 TEG chip 스펙 정의 및 설계
• 소자 파라미터 및 동작 조건 설정
4. SPAD 소자 특성 평가 및 최적화
• DCR, PDE, timing jitter, afterpulsing, crosstalk, Vbd 균일도 평가 및 개선
• 소자 특성의 온도 및 excess bias(Vex) 의존성 분석, 동작 조건 도출
• Wafer 내 / wafer 간 특성 균일도 확보
• TCAD simulation(device / optical)을 통한 구조 검증 및 개선 방향 도출
• 3D stacking(Cu-Cu hybrid bonding) 구조에서의 공정 정합성 검토
5. 신뢰성 검토 및 불량 분석
• WLR(Wafer Level Reliability) 조건 검토 및 결과 분석
• 불량 분석(FA) 의뢰·해석을 통한 원인 규명 및 공정 피드백
• 소자 열화(광열화, 고전압 스트레스 등) 메커니즘 분석 및 대응
• 재발 방지책 수립 및 공정 조건 반영